Chamber Impedance chamber impedance

2019.09.24 15:45

nok73 조회 수:2014

안녕하십니까? 교수님, 


ALD 챔버를 제작되기 전에 매쳐 설계를 해야 하는 상황이어서 질문 드립니다. 

알루미늄 챔버의 사이즈, 전극사이즈, 웨이퍼사이즈, 전극과 웨이퍼 간격, 압력등의 정보를 가지고 챔버임피던스 계산이 가능 한지요? 

또한 시뮬레이션 하는 툴이 있을까요? 

답변을 부탁 드립니다. 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76871
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20273
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92694
377 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3058
376 CVD 공정에서의 self bias [1] 3150
375 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3167
374 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3170
373 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3208
372 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3236
371 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3237
370 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3330
369 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3332
368 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3340
367 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3354
366 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3428
365 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3436
364 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3448
363 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3454
362 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3481
361 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3551
360 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3553
359 ESC Cooling gas 관련 [1] 3556
358 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3559
쓰기
태그

Boards

XE Login