Plasma in general 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다.
2021.10.27 15:55
안녕하세요. 감사하게도 플라즈마에 관한 수많은 질문과 답변들을 읽으며 많은 도움을 받고 있습니다.
저는 수도권 내 대학 기계공학과에 재학중인 학부연구생입니다.
다름이 아니라, 이번에 새로운 프로젝트를 기획하게 되었는데,
주제는 "DBD플라즈마를 활용한 마스크 소독기"가 되었습니다. 지름 150mm, 높이 200mm 수준의 실린더형 제품으로 구상중입니다.
드릴 질문은 다음과 같습니다.
1. DBD plasma generator 설계에 있어 플라즈마 리액턴트에 관한 조언
2. Parallel Plates 혹은 원통형의 DBD 플라즈마를 구성함에 있어 중요한 공정 변수들(rf generator, 전극과 유전체의 재료 properties, 전극과 유전체 사이 간격, 원통의 길이 등)
3. 소독이 진행 되어질 챔버(폴리머 or 메탈)에관한 전문가님들의 조언이 필요하게 되어 글을 작성하게 되었습니다.
바쁘신 와중에 읽어주셔서 감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [182] | 75027 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 18871 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56344 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 66872 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 88354 |
| 679 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 376 |
| 678 | Polymer Temp Etch [1] | 378 |
| 677 | Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [1] | 387 |
| 676 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 390 |
| 675 | PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] | 391 |
| 674 | KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] | 393 |
| 673 | Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. | 395 |
| » | 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] | 396 |
| 671 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 402 |
| 670 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 402 |
| 669 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 403 |
| 668 |
진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문
[1]  | 403 |
| 667 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 409 |
| 666 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 412 |
| 665 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 413 |
| 664 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 419 |
| 663 | 핵융합 질문 [1] | 421 |
| 662 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 428 |
| 661 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 430 |
| 660 | Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. | 432 |
저희 보다는 광운대학교 최은하교수님 연구실에서 좀 더 좋은 답변을 구할 수 있을 것 같습니다. 또는 핵융합 연구소의 김성봉박사님 연구 팀에 문의드려 보시길 추천합니다. 방전기가 가지는 임피던스와 가용 주파수 조건에서 matching 의 필요성 여부를 확인해 보세요. 플라즈마가 발생되면 상압 플라즈마의 임피던스더 어떻게 알 수 있는가 같이 공부해 보면 좋을 것 같습니다.