안녕하세요. 감사하게도 플라즈마에 관한 수많은 질문과 답변들을 읽으며 많은 도움을 받고 있습니다.

 

저는 수도권 내 대학 기계공학과에 재학중인 학부연구생입니다.

 

다름이 아니라, 이번에 새로운 프로젝트를 기획하게 되었는데,

주제는 "DBD플라즈마를 활용한 마스크 소독기"가 되었습니다. 지름 150mm, 높이 200mm 수준의 실린더형 제품으로 구상중입니다.

 

드릴 질문은 다음과 같습니다.

1. DBD plasma generator 설계에 있어 플라즈마 리액턴트에 관한 조언

 

2. Parallel Plates 혹은 원통형의 DBD 플라즈마를 구성함에 있어 중요한 공정 변수들(rf generator, 전극과 유전체의 재료 properties, 전극과 유전체 사이 간격, 원통의 길이 등)

 

3. 소독이 진행 되어질 챔버(폴리머 or 메탈)에관한 전문가님들의 조언이 필요하게 되어 글을 작성하게 되었습니다.

 

바쁘신 와중에 읽어주셔서 감사합니다.

 

 

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102611
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24654
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61350
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73433
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105735
793 HF PLASMA DEPOSITION 시 POWER에 따른 DEP RATE 변화 [장비 플라즈마, Rate constant] [1] 447
792 Debey Length에 대해 문의 드립니다. [플라즈마 정의와 Deybe length] [1] 455
791 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [박막] [1] 458
790 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 467
789 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해] [1] 469
788 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [Impedance matching 이해] [1] 470
787 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 472
786 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 472
785 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 475
784 ICP 장비 TCP Reflect 발생 간 조언 부탁드립니다. [1] 476
783 가스 조성 및 온도에 따른 식각률 관련 질문입니다. [Arrhenius equation 이해] [1] 483
782 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [Lorentz force와 ExB drift 이해] [1] 492
781 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 520
780 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 529
779 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 544
778 III-V 반도체 에칭 공정 문의 [1] 548
777 RF플라즈마에서 quasineutral에 대해 궁금한게 있어 질문글 올립니다.[quasineutral] [1] file 550
776 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 552
775 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 556
774 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 562

Boards


XE Login