번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [131] 5633
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16938
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64231
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84429
73 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) 22607
72 고온플라즈마와 저온플라즈마 22709
71 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22709
70 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22727
69 No. of antenna coil turns for ICP 22790
68 DC glow discharge 22855
67 plasma와 arc의 차이는? 22893
66 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23009
65 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23035
64 self Bias voltage 23070
63 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. 23075
62 Arcing 23095
61 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23113
60 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23299
59 OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] 23434
58 플라즈마 쉬스 23519
57 plasma and sheath, 플라즈마 크기 23620
56 Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제 23765
55 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 23889
54 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24054

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