kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] | 103236 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 24702 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 61502 |
» | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 73514 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 105927 |
213 | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17604 |
212 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 [Collision과 Wall loss] | 17617 |
211 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17712 |
210 | 유전체 플라즈마 | 17729 |
209 | 플라즈마와 자기장의 상호작용 [Magnetic Confinement] | 17786 |
208 | 교육 기관 문의 | 17842 |
207 | 충돌 | 17901 |
206 | 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. | 17905 |
205 | 플라즈마 온도중 Tr의 의미 | 17961 |
204 | capacitively/inductively coupled plasma [Heating mechanism과 coolant] | 17970 |
203 | 플라즈마 응용분야 | 17979 |
202 | Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. | 18058 |
201 | Plasma of Bio-Medical Application | 18070 |
200 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. [플라즈마 기초] | 18097 |
199 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 18127 |
198 | 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] | 18130 |
197 | 플라즈마의 정의 | 18130 |
196 | electrode gap | 18153 |
195 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] | 18197 |
194 | DBD plasma [Excitation과 Power Current] | 18211 |