CCP 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련
2020.01.02 18:46
안녕하십니까?
이전에 에쳐장비 관련 장비메이져 회사에서 근무한 경험이 있습니다.
그당시, 에쳐장비에서 HF/LF가 RF가 인가가 되는데,
그라운드 링이라는 하드웨어가 상부전극 주위 즉 Deposhield윗 공간에 존재를 하였습니다.
에쳐장비에서 RF관련 그라운드를 어떻게 잡는지가 궁금합니다.
(그라운드를 잡지않으면, 아킹이나 노이즈 등의 위험이 있다고 생각합니다.)
확인 및 답변 부탁드립니다.
새해 복 많이 받으시고, 행복한 한해 되십시오.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78038 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20848 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93634 |
199 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17888 |
198 | 플라즈마 응용분야 | 17894 |
197 | electrode gap | 17989 |
196 | Plasma of Bio-Medical Application | 18014 |
195 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18029 |
194 | 플라즈마의 정의 | 18058 |
193 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18075 |
192 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 18096 |
191 | 증착에 대하여... | 18125 |
190 | DBD plasma | 18126 |
189 | 진로상담 | 18173 |
188 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18212 |
187 | rotational vibration excitation | 18216 |
186 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18225 |
185 | ICP에 대하여 | 18229 |
184 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18289 |
183 | PDP 에 대해서.. | 18319 |
182 | sputtering | 18324 |
181 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18328 |
180 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18335 |
상기관련, 에쳐장비에서 HF/LF의 기본적으로 접지를 잡는방법이 궁금합니다.
또한 그라운드관련 그라운드 기능을 하는 하드웨어파트가 없어도, 큰 무리는 없는지 궁금합니다.
확인 부탁드립니다.
감사합니다.