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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP)
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안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다.
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고온플라즈마와 저온플라즈마
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No. of antenna coil turns for ICP
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DC glow discharge
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[질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요.
[3] | 23042 |
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CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점.
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광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요?
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HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생
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플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다.
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Arcing
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self Bias voltage
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N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요
[2] | 23457 |
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plasma와 arc의 차이는?
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플라즈마 쉬스
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plasma and sheath, 플라즈마 크기
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Dechucking 시 wafer 상의 전하 문제
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ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요?
[1] | 23980 |
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플라즈마에 관해 질문 있습니다!!
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반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
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