현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다. 

OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.

혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103276
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24710
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61515
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73516
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105936
194 DBD plasma [Excitation과 Power Current] 18212
193 증착에 대하여... 18216
192 진로상담 [플라즈마 응용분야] 18260
191 저온 플라즈마에 관한 질문 18291
190 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [Power와 Gas ionization] [1] 18301
189 rotational vibration excitation [TLD와 IRLAS] 18307
188 ICP에 대하여 [DC glow 방전과 ICP 플라즈마 발생] 18329
187 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? 18411
186 PDP 에 대해서.. 18411
185 플라즈마와 사용되는 기체선택 18414
184 실생활에서 사용되는 플라즈마 18431
183 sputtering 18442
182 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18454
181 Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] 18469
180 물리적인 sputterting 18482
179 Faraday shielding & Screening effect [Fluctuation과 grid bias] 18488
178 질문 있습니다. [Plasma breakdwon과 plasma particle] [1] 18531
177 RF compensate probe 18541
176 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free] 18640
175 플라즈마을 막는 옷의 소재는? [옷의 소재 표면 처리] 18640

Boards


XE Login