OES CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [핵융합 연구소 자료]
2021.07.16 18:01
현재 BTO 박막을 CF4/Ar gas 를 이용하여 플라즈마 식각을 진행하고 있습니다.
OES 분석을 위해 CF3 파장이 필요한데 제가 가지고 있는 data에 없어서 이렇게 문의 드립니다.
혹시 OES 분석이나 실험 분석에 사용했던 CF3의 파장이 있으시다면 알려주실수 있으신가요?
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] | 103276 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 24710 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 61515 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 73516 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 105936 |
194 | DBD plasma [Excitation과 Power Current] | 18212 |
193 | 증착에 대하여... | 18216 |
192 | 진로상담 [플라즈마 응용분야] | 18260 |
191 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18291 |
190 | RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [Power와 Gas ionization] [1] | 18301 |
189 | rotational vibration excitation [TLD와 IRLAS] | 18307 |
188 | ICP에 대하여 [DC glow 방전과 ICP 플라즈마 발생] | 18329 |
187 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18411 |
186 | PDP 에 대해서.. | 18411 |
185 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18414 |
184 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18431 |
183 | sputtering | 18442 |
182 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18454 |
181 | Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] | 18469 |
180 | 물리적인 sputterting | 18482 |
179 | Faraday shielding & Screening effect [Fluctuation과 grid bias] | 18488 |
178 | 질문 있습니다. [Plasma breakdwon과 plasma particle] [1] | 18531 |
177 | RF compensate probe | 18541 |
176 | 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free] | 18640 |
175 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? [옷의 소재 표면 처리] | 18640 |
저희 홈페이지에 링크되어 있는 사이트에서 자료를 찾아 보세요. 국내에서는 핵융합 연구소 기반기술 연구부(송미영박사님)에서 자료를 제공합니다. 문의드려 보세요.