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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61702
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600 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 382
599 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 389
598 활성이온 측정 방법 [1] 391
597 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 392
596 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 393
595 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 398
594 plasma 형성 관계 [1] 398
593 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 400
592 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 402
591 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 403
590 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 410
589 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 413
588 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 419
587 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 425
586 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 436
585 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 438
584 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 441
583 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 443
582 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 444
581 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 448

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