60 MHz pulse generator와 60 MHz matching box를 구입하여 pulse plasma 특성들 (EEDF, Vp, Te, etc..)을 Langmuir probe를 이용해 측정하려 합니다.  그런데 pulse plasma 측정 방법에 대해 아는 부분이 없습니다.  일반적인 cw plasma 측정과 달리 pulse plasma는 TTL signal이 필요하다고 하는데 TTL signal이 무엇인지 궁금합니다.
그리고 pulse 주기에 따라 이를 측정하기 위한 장치들이 필요하다면 무엇이 필요한지 알고 싶습니다.
time-resolved, time-dependent plasma의 차이도 궁금하구요...

저희 Langmuir probe는 Hiden 社이며 EPison controller를 이용하고 있습니다.

한번에 너무 많은 것을 물어봐서 죄송합니다만, 자세히 알고 싶습니다.

부탁드립니다.

(혹시 관련 manual 자료가 있으면 받을 수 있을까요?)

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20847
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93632
759 대기압 플라즈마 문의드립니다 [플라즈마 전원 이해] [1] 289
758 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 317
757 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 329
756 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 331
755 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 337
754 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 340
753 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 340
752 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 340
751 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 346
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 351
749 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 356
748 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 358
747 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 358
746 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 370
745 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 372
744 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 375
743 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 385
742 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 403
741 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 403
740 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [1] 405

Boards


XE Login