안녕하세요 저는 한양대 비선형광학 연구실에 석사과정중인 박진우 입니다.



현재 Hollow Cathode discharge를 이용한 D2 플라즈마를 뛰어서 분광학에 사용하는 연구를 진행중인데요, 



플라즈마를 띄우는 과정에서 이상 현상들이 일어나 이에 대해 고민하던중 혼자힘으론 해결이 어려워 이렇게 글을 남김니다.



현재 이상현상은 두가지인데요.



첫째는 플라즈마가 안정화가 안되고, 계속 전극위에 이물질이 타듯이 스파크가 튀는것입니다. 이 현상이 랜덤하게 일어나서, 전극 교체마다 어느때는 괜찮고 어느때는 일어나는 랜덤한 현상인데, 이것의 원인을 모르겠구요... 평소에는 전극 주변에 이물질이 타는거라고 알고는있는데 플라즈마가 안정화가 안되고 이 현상이 계속 유지가 되내요.



두번째는 플라즈마에서 발광 빛의 변형이 일어나는 것인데요,원래 중수소 플라즈마의 발광빛이 656nm 쯤이라 붉은 핑크빛이 나오는데요, 플라즈마를 키고 10분~15분 지나면 갑자기 초록색 비슷한 발광빛이 일시적으로 관측 됩니다.이때 인가전류도 감소하고 , 챔버 내 온도도 ㄱ 감소하더라고요. 챔버 내벽에서 나오는 파티클이 나오는거같아 세척도하고, 전극 표면도 초음파세척을 해주었지만 개선이 안되고있고요.



두번째 이상현상이 일어난후 챔버를 열어보면 ppt의 그림과같이 오염된 자국들이 선명하게 남게됩니다. 평소 세척은 공업용 수세미로 세척을 했었는데, 챔버 벽면에 스크레치가 생길수 있어서 최근에 업체에 맡겨서 내벽 세척을 다 끝내고 실험을 다시 진행했는데요.



5번 슬라이드처럼 다시 전극이 변형된거를 관측했습니다. 이때는 초록빛은 관측되지않고, 단순히 인가전류만 감소하고 결국은 꺼졌습니다.



현재 anode가 cu고 cathode 가 Al인데 개인적인 생각으론 전극으로서 금속선택이 잘못된거 같다고는 생각이 드는데 정확한 원인으로서 증명하기가 힘드네요.

구체적인 현상들은 사진으로 ppt에 첨부했습니다.

이러한 현상에대해 혹시 아신다면 ,알려주시면 정말 감사하겠습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4918
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16262
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63764
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83575
619 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 418
618 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 419
617 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 419
616 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 420
615 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 427
614 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 429
613 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 432
612 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 436
611 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 436
610 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 439
609 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 443
608 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 444
607 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 445
606 활성이온 측정 방법 [1] 447
605 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 448
» Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 450
603 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 450
602 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 454
601 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 455
600 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 457

Boards


XE Login