CVD 설비에서 GENERATOR에서 온 AC POWER는 MATCHER를 거쳐 S/H로 공급되는데요

 

MATCHER ~ S/H간 연결 방식이 장비 MAKER마다 다른데 특별한 이유가 있나요?

 

어느 설비는 단단하게 고정된 CU, AG 재질을 쓰는 곳이 있고, 어느 설비는 얇은 끈, 전선같은 방식을 채택하기도 하던데

 

RF 전송 PATH의 굵기, 곡률(직각, 직선, 곡률이 있는경우), 재질과 같은 H/W적 요소가 IMPEDANCE MATHCING에 어떤 영향을 미치나요?

 

어떤 내용이나 자료를 공부하면 알 수 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103231
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24700
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61501
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73514
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105927
773 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 567
772 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 568
771 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 571
770 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 578
769 III-V 반도체 에칭 공정 문의 [1] 585
768 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 587
767 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 589
766 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 590
765 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 594
764 Wafer 영역별 E/R 차이에 대한 질문 [Gas flow system vs E/R] [1] 599
763 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 602
762 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 604
761 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 606
760 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 609
759 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 610
758 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 612
757 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 614
756 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 615
755 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 631
754 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 631

Boards


XE Login