Plasma in general plasma modeling 관련 질문

2022.12.04 20:24

byungjun 조회 수:395

안녕하세요, 저는 플라즈마 응용연구실에서 공부하고있는 우병준 이라고 합니다.

 

 plasma modeling 에 대해서 공부를 하던 도중, 

 

SIOC 박막을 CF4 plasma 를 이용해서 식각하는 과정에서, plasma modeling 이 들어가게 되었는데,

 

Langmuir probe 의 ion density 와 Te 를 갖고 F 의 flux 를 계산하는 방법을 알아내기 위해 여러 논문을 서칭했습니다만, 감이 잘 잡히지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

 

0-dimension plasma modeling 을 하기 위해서 고려해야하는 reaction table 의 여러 반응들을 어떻게 기준을 잡아야하는지 잘 모르겠습니다.

 

예를들어, F의 flux 를 결정하는 조건들이 있을텐데 그 조건에 대한 기준을 어떻게 잡아야하는지 모르겠습니다.

 

다른 논문에서 진행했던 방식을 그대로 가져와서 하는건지, 아니면 제가 modeling 의 기준을 잡아야하는건가요 ? 

 

처음하는 분야이다 보니 많이 막막해서, 어떤 방향으로 공부를 해 나가야할지 모르겠어서 질문드립니다..! 

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