안녕하세요. 반도체 회사에 재직중인 장비엔지니어 입니다.

 

에칭을 진행하는 특정 공정에서 특정 Step을 진행하는 중간에

 

60Mhz만 Ref가 튀면서 Bias Power도 튀는 현상이 있습니다..

 

27Mhz, 2Mhz도 사용하지만 해당 Power의 Ref는 정상이구요..

 

매쳐나 Generator를 바꿔봐도 현상이 똑같은거보면 chamber 내부에서 분위기가 달라지면서 발생하는 현상일 것 같은데

 

어떤 이유들이 이런 현상을 일으킬 수 있을까요..?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [126] 5571
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16853
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51343
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64184
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84145
610 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 473
609 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 479
608 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 485
607 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 488
606 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 491
605 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 503
604 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 504
603 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 506
602 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 507
601 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 507
600 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 508
599 anode sheath 질문드립니다. [1] 508
598 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 509
597 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 519
596 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 521
595 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 528
594 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 540
593 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] 543
592 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 546
591 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 552

Boards


XE Login