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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73155
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105319
733 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질] [1] 687
732 (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 690
731 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 693
730 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 697
729 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 701
728 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 705
727 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 709
726 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 709
725 ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다 [1] 709
724 챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP] [1] 711
723 CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화] [1] 715
722 KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion] [1] 719
721 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 723
720 Floride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [Sputter setup 및 구동 원리] [1] 725
719 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder] [1] 730
718 skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해] [1] 733
717 Bias인가 Cable 위치 관련 문의 [플라즈마 분포 관찰] [1] 740
716 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 744
715 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 749
714 안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift] [1] file 755

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