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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63781
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579 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 538
578 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 540
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575 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 544
574 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 557
573 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 558
572 전자 온도 구하기 [1] file 559
571 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 561
570 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 575
569 ICP 후 변색 질문 576
568 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 588
567 Collisional mean free path 문의... [1] 590
566 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!! [1] 599
565 plasma 형성 관계 [1] 608
564 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 609
563 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 611
562 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 613
561 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 624
560 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 628

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