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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [플라즈마 생성 조건 및 성질]
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(PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법]
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메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마]
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Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath]
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스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실]
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코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님]
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Interlock 화면.mag overtemp의 의미
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Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
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ESC 사용 공정에서 Dummy Wafer Chuck Force 에 대해서 궁급합니다
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챔버의 Plasma density 확인방법 문의드립니다. [플라즈마 모니터링, OES, LP]
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CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [Chamber impedance 변화]
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KM 모델의 해석에 관한 질문 [Self bias와 ambipolar diffusion]
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magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화]
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Floride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문 [Sputter setup 및 구동 원리]
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Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [Powder]
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skin depth에 대한 이해 [Stochastic heating 이해]
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Bias인가 Cable 위치 관련 문의 [플라즈마 분포 관찰]
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VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS]
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AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제
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안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift]
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