안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5598
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16878
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51346
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64207
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84185
551 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 725
550 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 729
549 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [1] 737
548 plasma 형성 관계 [1] 737
547 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 745
546 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 746
545 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 755
544 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 756
543 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 765
542 Plasma Generator 관련해서요. [1] 766
541 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 772
540 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 773
539 진학으로 고민이 있습니다. [2] 774
538 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 778
537 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 779
536 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [1] 783
535 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 789
534 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 800
533 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 801
532 RF 전압과 압력의 영향? [1] 808

Boards


XE Login