-> 실명으로 작성했다고 생각했는데 닉네임으로 되어있어서 죄송합니다.ㅜㅜ 닉네임 실명으로 수정하였습니다.

 

안녕하세요 

 

현재 원기둥 모양의 얇은 텅스텐을 강염기 KOH로 전기에칭을 진행하고 있습니다.

 

Etching이 완료된 후 SEM으로 이미지를 보면 어떤물질인지 정확히 알 수 없는 수십나노 size의 Contamination들이 표면에

 

붙어있습니다. 

 

현재 플라즈마 장비로 이런 Contamination을 제거하기 위한 방법들을 찾아보고 있는 와중에 일전에도 도움주셔서 이렇게 글을

 

남겼습니다.

 

저희가 사용하는 플라즈마 장비는 진공플라즈마가 아닌 대기압플라즈마를 사용하며, 워낙 얇은 텅스텐을 사용하다보니

 

진공플라즈마에서 피뢰침처럼 Ark 방전이 발생하여 일부로 시료의 damage가 덜한 대기압플라즈마로 Remote 방식을 쓰고 있습니다.

 

현재 대기압플라즈마로 Native oxide제거(연구중), 정전기 제거(주사용)로 사용하고 있는데 추가적으로 Contamination 제거도 진행

 

하려고 합니다.

 

이러한 상황에서 좋은 접근방법이 있을지 여쭤보고 싶습니다.

 

바쁘신 와중에 글 읽어주셔서 감사합니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 103250
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24704
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61508
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73515
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105929
693 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 856
692 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction] [1] 863
691 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [Druyvesteyn distribution 이해] [1] 864
690 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 871
689 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [Plasma information과 monitoring] [1] file 871
688 ICP 후 변색 질문 874
687 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 876
686 Co-relation between RF Forward Power and Vpp [RF ground] [1] 877
685 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 877
684 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별] [1] 877
683 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [UV energy] [1] 885
682 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 905
681 CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision] [1] 914
680 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정] [1] 926
679 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 934
678 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 939
677 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 944
676 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 947
675 파장길이와 동축 케이블 길이 관련 문의드립니다 [Matcher 기능] [2] 950
674 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 952

Boards


XE Login