kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
2009.11.17 16:06
안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다
a) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.
b) the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV
Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] | 76539 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20076 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57115 |
» | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68613 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 91695 |
623 | Collisional mean free path 문의... [1] | 775 |
622 | 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] | 776 |
621 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 778 |
620 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 782 |
619 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 785 |
618 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 786 |
617 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 790 |
616 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 791 |
615 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 792 |
614 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 799 |
613 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 808 |
612 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 818 |
611 | ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] | 825 |
610 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 830 |
609 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 832 |
608 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 835 |
607 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 835 |
606 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 840 |
605 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 842 |
604 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 847 |