Etch 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다.
2017.09.09 21:02
안녕하세요~ ETCH ENG'r 입니다.
몇가지 질문 드리려 가입했습니다.
1. W ETCH 시에 SF6 GAS를 이용하게 되는데 이 경우 WFx의 Radical이 발생하게 됩니다. 이 Radical이 특히 Chamber내에 Polymer를 많이 발생시키는 건지 궁금합니다. (옛날 논문을 참고해보면 이 공정 자체가 더러운 공정이라는 말이 있어서요..)
2. W ETCH 후 ISD 진행시에 NF3 Gas를 사용하는데 이게 어떤 반응식을 통해 Paticle 제거 효과를 보는건지 궁금합니다.
답변 달아주시면 감사하겠습니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78039 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20848 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93635 |
| 659 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 711 |
| 658 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 711 |
| 657 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 717 |
| 656 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 738 |
| 655 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 739 |
| 654 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 746 |
| 653 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 747 |
| 652 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] | 748 |
| 651 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 749 |
| 650 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 750 |
| 649 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 753 |
| 648 | Polymer Temp Etch [1] | 758 |
| 647 | ICP 후 변색 질문 | 763 |
| 646 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 765 |
| 645 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 766 |
| 644 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 772 |
| 643 | 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] | 775 |
| 642 | O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. | 777 |
| 641 | RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] | 789 |
| 640 | Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] | 790 |