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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ
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플라즈마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [Plasma 이온화]
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플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [나노 분말 생성 및 제어 연구]
[1] | 6614 |
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공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [공동형 토치의 운전법 및 방전특성이해]
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액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문 드립니다! [플라즈마 발생 방식과 성질]
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안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [회로인자 및 구동기구, 플라즈마 특성]
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자료 요청드립니다.
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안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [VI probe]
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모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의
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SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [반응성 기체 생성]
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RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스]
[1] | 6285 |
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ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [ESC, 쉬스 전기장 및 bias 전력 조절]
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RF calibration에 대해 질문드립니다.
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DRAM과 NAND 에칭 공정의 차이 ["플라즈마 식각 기술"]
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Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [Plasma impedance와 Matcher]
[2] | 5902 |
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매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [RF 전력 전달]
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챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [Arc 형성 조건]
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RF power에 대한 설명 요청드립니다. [Child-Langmuir sheath 및 Debye length]
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Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [자유행정거리, Child law sheath]
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RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [충돌 반응 rate constant]
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