번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5809
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53078
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64488
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85103
338 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2645
337 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2585
336 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2538
335 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2536
334 PR wafer seasoning [1] 2478
333 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 2473
332 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2458
331 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2452
330 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2445
329 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2443
328 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2406
327 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 2376
326 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2335
325 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2291
324 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2266
323 임피던스 매칭회로 [1] file 2262
322 Plasma etcher particle 원인 [1] 2238
321 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2229
320 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2228
319 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2224

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