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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68811
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361 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 2001
360 안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다! [1] 1983
359 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1981
358 Remote Plasma 가 가능한 이온 [1] 1979
357 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1977
356 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1966
355 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1966
354 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1959
353 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1946
352 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1940
351 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1923
350 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1922
349 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1921
348 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1910
347 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1899
346 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1895
345 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1882
344 가입인사드립니다. [1] 1880
343 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1871
342 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1865

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