Plasma in general RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher]

2018.12.30 00:05

시쿠임 조회 수:1085

안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 

 

1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?

 

바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 82063
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21861
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58647
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70267
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95978
244 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1145
243 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1141
242 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 1140
241 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1124
240 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1123
239 ICP VIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [Plasma breakdown 및 생성] [1] file 1121
238 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1121
237 Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown] [1] 1120
236 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1116
235 플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films] [1] 1110
234 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1108
233 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [Plasma sheath, Stochastic heating] [1] 1107
232 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1104
231 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1100
230 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [오존발생기] [1] 1094
» RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher] [1] 1085
228 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1073
227 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 1068
226 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1061
225 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1060
쓰기
태그

Boards

XE Login