Others RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동

2009.08.05 12:52

조정안 조회 수:24773 추천:241

수고가 많으십니다.
저희 회사는 반도체, LCD장비 제작 회사들로 Motion Controller와 Servo ,Step Motor등을 공급하는 회사입니다.
업체 상담중에 문의사항이 있어서 조언을 구하고자 질문을 올려 드립니다.
Sputter 장비의 vacuum정도는 10 -3 torr, 공정온도는 약 100 도 정도입니다. Chamber내부에서 Motion을 구현 하고자 합니다. Chamber내부에 Vacuum용 모터를 사용하고자는데  RF 플라즈마에 의한 노이즈로 Motor 사용에 대한 부분을 우려하고 있습니다. 일반적으로 Chamber 외부로 Motion부분을 빼내어 메탈 벨로우즈를 이용한 방법으로 Motion을 사용한다고 하는데, Vacuum용 Motor를 RF 플라즈마 챔버내에서 사용하는 것이 가능한지 가능하다면 어떤 방법이 있는지 답변 부탁드립니다.
그럼 수고하십시요.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [270] 76745
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57169
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68706
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92304
129 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 617
128 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 615
127 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] file 609
126 기판표면 번개모양 불량발생 [1] 609
125 plasma 공정 중 색변화 [1] 608
124 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] 606
123 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 604
122 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 603
121 RF Sputtering Target Issue [2] file 600
120 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 596
119 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 594
118 Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] 594
117 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 589
116 OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] 589
115 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
114 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
113 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] 580
112 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
111 CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] 576
110 활성이온 측정 방법 [1] 572
쓰기
태그

Boards

XE Login