OES OES 원리에 대해 궁금합니다!
2018.05.31 19:08
안녕하세요 한양대학교에서 공부하고 있는 학생입니다
이번에 플라즈마 수업을 듣는데 플라즈마를 검진하는 방법중에 하나인 OES에 대해서 조사를 해보고 있는데
생각보다 자료가 많이 나오지 않아서 어려움을 겪고 있습니다
플라즈마 검진법중 하나인 OES에 대해서 조금 자세하게 설명 해주실수 있을까요??
부탁드립니다!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [271] | 76794 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20230 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57178 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68723 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92496 |
131 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 619 |
130 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 618 |
129 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 615 |
128 | 진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [1] | 614 |
127 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 612 |
126 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 610 |
125 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 609 |
124 | RF Sputtering Target Issue [2] | 606 |
123 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 606 |
122 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 597 |
121 | 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] | 596 |
120 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 595 |
119 | Co-relation between RF Forward power and Vpp [1] | 594 |
118 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 590 |
117 | 간단한 질문 몇개드립니다. [1] | 587 |
116 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 586 |
115 | Interlock 화면.mag overtemp의 의미 | 585 |
114 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 580 |
113 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
112 | Arcing 과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [1] | 573 |