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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76739
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20207
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68703
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92289
49 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 331
48 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 320
47 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 319
46 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 317
45 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 316
44 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 311
43 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 309
42 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 291
41 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 273
40 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 252
39 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 251
38 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 249
37 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 238
36 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 229
35 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
34 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 217
33 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 216
32 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 212
31 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 208
30 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 206
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