Plasma 를 공부하는 중에  bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.

3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.

형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.

단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에

chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.

이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?


이렇게 질문을 드리는 이유는

중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.

이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데

막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76858
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20263
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57197
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68749
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92630
217 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1014
216 고진공 만드는방법. [1] 1013
215 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1011
214 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1005
213 anode sheath 질문드립니다. [1] 997
212 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 991
211 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 985
210 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 978
» 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 976
208 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 974
207 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 968
206 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 965
205 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 962
204 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 958
203 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 943
202 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 928
201 Plasma Generator 관련해서요. [1] 912
200 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 896
199 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 892
198 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 892

Boards


XE Login