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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68745
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28 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 170
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22 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 139
21 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 132
20 sputtering 을 이용한 film depostion [1] 131
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