CCP CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활

2016.12.15 13:35

4차원 조회 수:7617

안녕하세요?

제가 알기로는 CCP는 두 전극사이에서 플라즈마가 일어나는 것으로 알고 있는데, 만약 두 전극 사이에 유전체가 속해진다면, 이 유전체가 어떠한 역할을 하는지 알고 싶습니다. 

http://plasma.ee.pusan.ac.kr/xe/sou

위의 사이트에서 보니깐 CCP에 유전체가 원래 있는 것처럼 보이는데, 웹에서 다른 내용을 보면 유전체 이야기는 없는, 단지 두 개의 평행한 전극만 이야기하는 내용도 있어서 궁금해서 글을 올립니다.

감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [256] 76402
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 19992
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57066
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68541
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91339
476 MFP에 대해서.. [1] 7808
475 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7686
» CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7617
473 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7563
472 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7085
471 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7015
470 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6588
469 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6565
468 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6531
467 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6472
466 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6459
465 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6435
464 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6415
463 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6413
462 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6407
461 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6353
460 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6326
459 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6220
458 자료 요청드립니다. [1] 6198
457 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6189

Boards


XE Login