ESC Si Wafer Broken

2018.08.01 11:16

장영구 조회 수:2524

안녕하세요. 반도체회사에 다니고 있습니다.

Plasma와 연관성이 없을 수 있는 질문인데요..

Si Wafer가 ESC Chucking  Voltage의 Damage(??)에 의해 Edge Broken이 발생할 수 있는지 궁금합니다. (2500v)

ESC를 사용하다가 1년 이상되면 Broken이 발생하고, Broken 주기는 점점 빨라집니다.

ESC의 오랜 사용에 의한 노화 현상은 맞는거 같은데 어떤 영향성으로 발생하는지 궁금해서요...(ESC 교체시 정상되네요)

Plasma On/Off와는 연관성이 없었습니다.



이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [272] 76805
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20240
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57185
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92559
492 MFP에 대해서.. [1] 7826
491 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7704
490 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7655
489 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7627
488 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7241
487 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7100
486 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6660
485 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6620
484 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
483 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6540
482 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6494
481 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6482
480 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6469
479 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6441
478 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6423
477 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6419
476 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
475 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6368
474 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6278
473 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 6262
쓰기
태그

Boards

XE Login