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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65687
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325 Ta deposition시 DC Source Sputtreing 2284
324 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2277
323 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2265
322 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 2265
321 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2248
320 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2208
319 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2204
318 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2171
317 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2165
316 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 2129
315 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2127
314 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 2125
313 Load position 관련 질문 드립니다. [1] 2093
312 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2093
311 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 2087
310 Wafer particle 성분 분석 [1] 2049
309 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [1] 2042
308 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2039
307 Si Wafer Broken [2] 2027
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