번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5809
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53076
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64487
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85102
298 RPS를 이용한 SIO2 에칭 [1] 1894
297 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 1862
296 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1845
295 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1815
294 가입인사드립니다. [1] 1809
293 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1773
292 PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성.... [1] 1772
291 교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다. [2] 1766
290 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1764
289 chamber impedance [1] 1755
288 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 1714
287 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] 1695
286 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 1672
285 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1669
284 etching에 관한 질문입니다. [1] 1662
283 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1647
282 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1626
281 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1624
280 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1594
279 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1591

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