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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86106
247 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1337
246 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 1323
245 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1321
244 수방전 플라즈마 살균 관련...문의드립니다. [1] 1316
243 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1313
242 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1306
241 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1306
240 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1302
239 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1296
238 doping type에 따른 ER 차이 [1] 1291
237 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1288
236 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1280
235 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1277
234 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1274
233 Ar plasma power/time [1] 1271
232 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1268
231 PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다. [1] 1263
230 MATCHER 발열 문제 [3] 1255
229 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 1249
228 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1248
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