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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
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plasma 형성 관계
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전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1646 |
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IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1623 |
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PECVD 증착에서 etching 관계
[1] | 1616 |
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glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1611 |
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O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1596 |
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연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생
[1] | 1592 |
331 |
PECVD와 RIE의 경계에 대해
[1] | 1583 |
330 |
N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
[1] | 1577 |
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ICP lower power 와 RF bias
[1] | 1570 |
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데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1566 |
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charge effect에 대해
[2] | 1559 |
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알고싶습니다
[1] | 1520 |
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텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1518 |
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Impedence 위상관련 문의..
[1] | 1512 |
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OES 분석 관련해서 질문드립니다.
[1] | 1511 |
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RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다.
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rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다.
[1] | 1505 |
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ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의
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