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공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27849
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 65126
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 76961
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 111214
336 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도] [1] 2033
335 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 2031
334 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [Cleaning procedure 플라즈마 공정진단 기술] [1] 2020
333 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance] [3] 2003
332 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [RF Power와 reflection] [1] 2001
331 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending] [1] file 2001
330 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 2000
329 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1995
328 SI 표면에 Ar Plasma Etching 하면 안되는 이유 [표면 전처리] [1] 1964
327 Plasma etch 관련 질문이 드립니다. [Sheath와 uniformity] [1] 1948
326 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1945
325 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1922
324 데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성] [1] 1920
323 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1918
322 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1913
321 알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터] [1] 1913
320 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1897
319 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1877
318 CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다. [챔버 벽면 성질 및 가스 손실] [1] 1875
317 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [Matcher와 dynamic impedance] [1] 1871
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