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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[266]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다.
[1] | 1319 |
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266 |
ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다!!
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I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다.
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텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다.
[1] | 1303 |
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263 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다.
[4] | 1288 |
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262 |
플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1] | 1284 |
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261 |
플라즈마 기초입니다
[1] | 1279 |
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260 |
ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다.
[2] | 1268 |
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259 |
임피던스 매칭 및 플라즈마 진단
[1] | 1263 |
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258 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance
[1] | 1256 |
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257 |
Plasma etch관련 질문이 드립니다.
[1] | 1240 |
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256 |
플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다.
[2] | 1235 |
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255 |
플라즈마 챔버
[2] | 1234 |
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254 |
RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유
[1] | 1233 |
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253 |
플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다.
[2] | 1223 |
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252 |
반도체 관련 플라즈마 실험
[1] | 1219 |
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251 |
micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다.
[1] | 1218 |
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250 |
RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화.
[1] | 1187 |
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챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화
[1] | 1179 |
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248 |
ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다.
[1] | 1174 |
