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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
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138 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 693
137 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 690
136 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] 689
135 RF 전압과 압력의 영향? [1] 680
134 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 680
133 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 679
132 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 676
131 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 674
130 문의 드립니다. [1] 674
129 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 673
128 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 671
127 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 661
126 플라즈마 충격파 질문 [1] 658
125 플라즈마 챔버 [2] 651
124 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 639
123 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 632
122 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 631
121 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 630
120 알고싶습니다 [1] 630
119 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 622

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