Plasma in general RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다

2018.12.30 00:05

시쿠임 조회 수:1016

안녕하세요. 반도체 회사에서 근무하고 있는 엔지니어 입니다.

최근 설비이슈로 rf tune position 상승의 문제가 있는데 load는 변동이 없는데 유독 tune position만 상승합니다. 이때 Vrms는 tune과 반비례로 하강하는 trend를 보이는데, 


1. tune과 Vrms 의 상관관계가 어떻게 되나요?

2. 유독 tune이 상승하는 원인을 어디서부터 찾아야 할까요?


바쁘신 와중에 항상 도움을 주셔서 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20847
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
259 Group Delay 문의드립니다. [1] 1187
258 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1181
257 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1177
256 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1163
255 자기 거울에 관하여 1158
254 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1157
253 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1144
252 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1140
251 Plasma Arching [1] 1138
250 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1134
249 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1130
248 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1120
247 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1099
246 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1096
245 CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] file 1091
244 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1084
243 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1082
242 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1080
241 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1074
240 anode sheath 질문드립니다. [1] 1072
쓰기
태그

Boards

XE Login