Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching]

2019.05.26 15:39

금자 조회 수:1405

안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.

하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..

그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,

그에 대한 화학반응식이 무엇인지  공부 하고 싶은데

혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.

 

만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [336] 107953
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26361
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 63539
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75193
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 108684
275 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1525
274 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge] [1] 1522
273 anode sheath 질문드립니다. [Sheath 형성 메커니즘] [1] 1522
272 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [Chucking/dechucking 파티클 제어] [1] 1519
271 공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식] [1] 1514
270 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1512
269 RF 반사파와 이물과의 관계 [Physical/chemical cleaning] [1] 1506
268 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [플라즈마 공간 분포 진단] [1] 1506
267 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [Chamber impedance] [2] 1494
266 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [PMI] [2] 1493
265 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1492
264 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [Self bias] [1] 1479
263 Vacuum chamber(Etching)내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계 [Plasma bulk Temp와 wall Temp] [2] 1476
262 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1476
261 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1475
260 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [DBD] [1] 1473
259 대학원 진학 질문 있습니다. [전공 설계] [2] 1472
258 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1467
257 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [Self bias] [1] 1467
256 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1465
쓰기
태그

Boards

XE Login