Ashing O2 Asher o-ring 문의드립니다.

2020.07.30 19:43

미누85 조회 수:888

안녕하세요

재직중인 곳에서 O2 Asher 를 사용하고 있습니다.

약 3개월 마다 장비 유지보수 및 cleaning을 진행하고 있는데

그때마다 항상 O-ring이 갈라져 있고, 주변으로 흰색 가루(?) 같은 것들이 있습니다.

Ar를 사용하는 PVD 장비의 O-ring은 1년을 써도 멀쩡한데 O2 asher만 그러네요....

O-ring 재질은 바이톤 재질을 사용하고 있습니다.

O2 Asher에 적합한 O-ring이 무엇인지 알고 싶습니다.

그리고 발생된 흰가루나 갈라진 O-ring이 out gasing, particle을 유발하여 제품에 영향을 미칠까요?

작업 용도는 세라믹 기판에 코팅된 PR을 노광 및 현상 후 표면 Cleaning 용도로 쓰고 있습니다.


무더위 건강 유의하시고 좋은 하루 되시길 바랍니다.!!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] 76710
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20162
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57162
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92244
228 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1101
227 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1086
226 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1075
225 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1070
224 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1063
223 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1058
222 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1056
221 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1056
220 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1054
219 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1048
218 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ 1045
217 Plasma Arching [1] 1045
216 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1037
215 플라즈마 코팅 [1] 1036
214 진학으로 고민이 있습니다. [2] 1030
213 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1028
212 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1021
211 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1015
210 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1011
209 고진공 만드는방법. [1] 1006
쓰기
태그

Boards

XE Login