OES OES 원리에 대해 궁금합니다!
2018.05.31 19:08
안녕하세요 한양대학교에서 공부하고 있는 학생입니다
이번에 플라즈마 수업을 듣는데 플라즈마를 검진하는 방법중에 하나인 OES에 대해서 조사를 해보고 있는데
생각보다 자료가 많이 나오지 않아서 어려움을 겪고 있습니다
플라즈마 검진법중 하나인 OES에 대해서 조금 자세하게 설명 해주실수 있을까요??
부탁드립니다!
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [275] | 76845 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20252 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57192 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68745 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92603 |
| 756 | 플라즈마 온도 | 27804 |
| 755 | DBD란 | 27732 |
| 754 | 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 | 27639 |
| 753 | 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] | 27216 |
| 752 |
이온과 라디칼의 농도
 | 27012 |
| 751 | self bias (rf 전압 강하) | 26726 |
| 750 | 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] | 26482 |
| 749 | dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] | 26202 |
| 748 | 충돌단면적에 관하여 [2] | 26173 |
| » | OES 원리에 대해 궁금합니다! [1] | 26170 |
| 746 | 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? | 25585 |
| 745 | PECVD 매칭시 Reflect Power 증가 [2] | 24987 |
| 744 | 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. | 24890 |
| 743 | Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] | 24875 |
| 742 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24775 |
| 741 | ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] | 24758 |
| 740 | plasma와 arc의 차이는? | 24728 |
| 739 | H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] | 24665 |
| 738 |
반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다.
| 24605 |
| 737 | 플라즈마가 불안정한대요.. | 24521 |