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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63749
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83516
98 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 524
97 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 521
96 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 517
95 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 514
94 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 510
93 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 508
92 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 506
91 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [2] 497
90 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 495
89 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 489
88 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 485
87 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 483
86 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 482
85 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 482
84 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 479
83 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 469
82 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 463
81 anode sheath 질문드립니다. [1] 459
80 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 456
79 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 454

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