안녕하세요?

호서대학교 에너지공학과 재학중인 강병우라고 합니다.

스퍼터링을 공부하다가, 플라즈마에 대해 궁금한게 생겨서 질의 드립니다.

 "플라즈마 구 예시"(링크)

 

플라즈마 구의 경우, 중심부에 음극을 위치시키고, 구 안에 비활성기체를 넣어주고, 고전압을 걸어주면 방전현상이 일어나게 된다까지는 이해가 됩니다.

 

그런데, 스퍼터링의 경우에는 음극과 양극이 위치하고 있어서, 방전으로 인해 생긴 전자가 양극을 통해 흘러서 전자의 흐름이 발생할 것입니다. 스퍼터링 기구 안에서의  전자의 흐름으로 인해 전자기파도 발생하고, 전자가 다른 입자에 부딪혀 여기시키면서 한번더 전자파를 발생시키고, 이로 인해, 플라즈마가 빛을 나타내는 것으로 이해하고 있습니다.

 

그런데, 플라즈마구의 경우에 따로 양극이 없고 유리로 둘러쌓여있는데, 이 전자가 흘러나갈 수 있는 통로가 있나요?

 

 

손가락을 갖다 대거나 하면, 빛이 손가락 쪽을 향하는데, 그럼 이 플라즈마로 보이는 빛, 즉 전자가 유리를 뚫고, 손가락을 통해 빠져나가는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102860
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24688
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73479
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105832
253 RF 주파수에 따른 차이점 [이온 및 전자 주파수 선택] [1] 1396
252 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1387
251 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp] [1] 1369
250 Shield 및 housing은 ground와 floating중 어떤게 더 좋은지요 [장비 ground] [2] 1368
249 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [Langmuir probe와 ground] [1] file 1363
248 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1360
247 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1341
246 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 1339
245 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [CCP 방전 원리] [1] file 1332
244 Collisional mean free path 문의… [MFP와 평균값 개념] [1] 1331
243 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1326
242 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 1316
241 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1316
240 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1314
239 3-body recombination 관련 문의드립니다. [Energy 보존 및 momentum 보존] [2] 1312
238 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1298
237 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [Light flower bulb] [1] 1292
236 아래 382번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [Self bias와 capacitance] [1] 1284
235 Plasma에서 Coupled(결합)의 의미 [Power coupling과 breakdown] [1] 1283
234 고진공 만드는방법. [System material과 design] [1] 1274

Boards


XE Login