Others 고진공 만드는방법.

2017.12.15 22:16

즙즙 조회 수:1020

background pressure 이 10^-7이 되게 하려면

단순히 diffusion pump 와 rotary oil pump만을 이용해서 만들수있나요??


그리고 전체적인 구조는 어떻게 될가요. background pressure 가 10^-7이면 

ultrahigh vac을 만드려고 하는거 같은데 ion pump 나 TSP가 추가돼야 할까요?

단순하게 이론적으로 궁금하네요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77208
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57361
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92946
226 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1029
225 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1028
224 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1025
» 고진공 만드는방법. [1] 1020
222 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1019
221 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1010
220 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1009
219 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 988
218 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 987
217 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 987
216 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 985
215 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 975
214 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 971
213 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 967
212 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 946
211 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 945
210 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 943
209 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 923
208 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 917
207 Plasma Generator 관련해서요. [1] 914

Boards


XE Login