안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77004
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20344
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57267
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68811
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92810
201 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 901
200 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 899
199 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 886
198 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 878
197 문의 드립니다. [1] 876
196 Self bias 내용 질문입니다. [1] 860
195 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 858
194 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 857
193 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 855
192 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 854
191 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 854
190 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 849
189 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 846
188 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 837
187 RF 파워서플라이 매칭 문제 836
186 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 829
185 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 822
184 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 819
183 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] 817
182 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] 817

Boards


XE Login