Matcher Plasma Arching
2022.09.13 19:17
안녕하십니까!
경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데
신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.
1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?
답변주시면 감사하겠습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] | 76734 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20206 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57168 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
189 | RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] | 869 |
188 | 문의 드립니다. [1] | 868 |
187 | 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] | 868 |
186 | RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] | 863 |
185 | 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] | 856 |
184 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 854 |
183 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 845 |
182 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 844 |
181 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 844 |
180 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 839 |
179 | ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] | 833 |
178 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 824 |
177 | Self bias 내용 질문입니다. [1] | 821 |
176 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 815 |
175 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 812 |
174 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 806 |
173 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 805 |
172 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 800 |
171 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 800 |
170 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 794 |
재료적 관점에서 플라즈마를 전기적 물성을 가진 재료로 생각해 보세요. 이 개념은 플라즈마의 dielectric property를 이해하는 것으로 시작하는데, 특히 lossy 한 재료가 가지는 RF 반응을 이해하면 좋습니다. 따라서 plasma dielectric property 에서 rf 주파수의 역할, plasma frequency, 및 기본적인 collision frequency 가 dielectric property를 어떻게 바꾸는가에 대해서 생각을 정리해 보세요. 이를 이해하기에 좋은 교재는 물리2 이고 Maxwell 방정식으로 부터 plasma dielectric frequency를 유도할 수 있으면, 플라즈마 공부하시는데 크게 지장은 없습니다. 참, 입자의 거동이니 하전입자의 운동 방정식과 연속 방정식은 늘 함께 다니는 식입니다. 이는 물리 1에서도 다루고 있습니다.
전자기학 책에 너무 연연하지 마시고 일반 물리에서 배운 지식을 잘 활용해 보시면 좀 더 수월하게 접근하실 수 있는 분야가 플라즈마 분야라 생각합니다.