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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭]
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PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어]
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안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge]
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210 |
RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리]
[1] | 1162 |
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DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"]
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208 |
교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath]
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207 |
연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어]
[1] | 1142 |
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Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전]
[1] | 1140 |
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205 |
플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅]
[1] | 1133 |
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204 |
PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher]
[2] | 1130 |
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203 |
ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체]
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202 |
RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응]
[1] | 1123 |
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201 |
Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]
[1] | 1120 |
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문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density]
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플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy]
[1] | 1115 |
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매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model]
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197 |
라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수]
[1] | 1087 |
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플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias]
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ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS]
[2] | 1065 |
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경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.
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