번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 101767
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24425
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61074
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73107
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105265
213 Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [임피던스 매칭] [1] 1165
212 PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] 1162
211 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [DC glow discharge] [1] 1162
210 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [TC gauge 동작 원리] [1] 1162
209 DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [DBD와 "industrial plasma engineering"] [1] 1150
208 교수님 질문이 있습니다. [Child-Langmuir sheath] [1] 1145
207 연면거리에 대해 궁금합니다. [아크 제어] [1] 1142
206 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 1140
205 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅] [1] 1133
204 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] 1130
203 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 1123
202 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1123
201 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 1120
200 문의 드립니다. [방전 개시 조건 및 Bohm current density] [1] 1118
199 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [OES와 atomic spectroscopy] [1] 1115
198 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1093
197 라디컬의 재결합 방지 [해리 반응상수] [1] 1087
196 플라즈마 용어 질문드립니다. [Self bias] [1] 1066
195 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [ECRiS] [2] 1065
194 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1063

Boards


XE Login