안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.


(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.


일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.


원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.


일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....


교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.


그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.


감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [126] 5571
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16853
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51343
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64184
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84145
70 활성이온 측정 방법 [1] 456
69 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 454
68 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 448
67 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 442
66 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 440
65 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 432
64 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 432
63 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 431
62 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 428
61 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 428
60 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 427
59 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 427
58 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 425
57 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 411
56 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 409
55 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 403
54 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 400
53 RF 파워서플라이 매칭 문제 392
52 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 388
51 핵융합 질문 [1] 384

Boards


XE Login