안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77915
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20785
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57701
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69203
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93559
176 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 783
175 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 773
174 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 771
173 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 768
172 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 762
171 ICP 후 변색 질문 760
170 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 752
169 Polymer Temp Etch [1] 752
168 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 749
167 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 745
166 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 744
165 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 742
164 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 741
163 plasma 공정 중 색변화 [1] 736
162 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 735
161 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 735
160 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 708
159 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 708
158 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 707
157 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 703

Boards


XE Login