안녕하세요. (코로나 방전을 이용한) 전기집진을 공부하고있는 학생입니다.

최근 실험 중, 코로나 전류가 -10uA에서 시간이 지날수록 하락하는 현상이 나타났습니다.

충분히 시간이 경과하니 -0.2uA 수준까지 하락을 하였습니다.

수초 간 전원을 OFF 후 ON 시키면 1/3수준까지는 회복이 됩니다

또는 전원을 OFF 후 방전이 일어나는 브러쉬 부분을 건드려준 후, 다시 ON을 시키면 원래 값까지 회복이됩니다.

위 현상이 나타나는 이유 또는 참고할만한 내용이 있으면 부탁드려도 될까요??

홈페이지 통하여 플라즈마 관련 많이 배우고 있습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20848
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93633
179 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 789
178 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 777
177 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 775
176 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 772
175 remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] 766
174 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 765
173 ICP 후 변색 질문 763
172 Polymer Temp Etch [1] 758
171 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 752
170 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 750
169 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] 749
168 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [Glow discharge process 이해] [1] 748
167 plasma 공정 중 색변화 [1] 747
166 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 746
165 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] 739
» 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 738
163 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] 717
162 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] 711
161 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 711
160 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 706

Boards


XE Login