안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [318] 83491
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22121
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58871
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70528
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96755
165 Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전] [1] 809
164 ICP 후 변색 질문 804
163 N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마] [1] 797
162 [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [플라즈마 식각기술] [1] 797
161 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [Self bias] [1] 796
160 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 795
159 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 794
158 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 791
157 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [플라즈마 밀도 및 전위 제어] [1] 789
156 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 788
155 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 773
154 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 769
153 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 768
152 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 760
151 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 748
150 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 738
149 CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision] [1] 733
148 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 725
147 전공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문 [Ion beam source] [1] file 724
146 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction] [1] 723

Boards


XE Login